Micro-Electro-Mechanical Systems ou MEMS são microssistemas monolíticos, formados por blocos, onde partes não-eletrônicas (sensores e atuadores), interface analógica e controle digital são construídas no mesmo chip. As microestruturas mecânicas (suspensas), móveis ou não, podem exploradas como sensores e/ou atuadores em sistemas miniaturizados.
Inúmeras são as áreas de interesse e aplicações potenciais para essas microestruturas. A indústria automobilística, as telecomunicações, os sistemas médicos e biomédicos representam o mercado principal, embora as áreas de instrumentação, controle de processos, aeronáutica e certamente a automação industrial enxergam nesses micromecanismos uma forma de desenvolver sensores e atuadores para aplicações antes limitadas pelo tamanho dos dispositivos.
Os dois tipos mais comuns de microusinagem no campo de MEMS são a usinagem em volume e a usinagem de superfície. Dos dispositivos microusinados tem-se os mecânicos, os térmicos, os ópticos e os de RF e micro-ondas, este último bastante explorados pelo nosso laboratório.
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